采用磁控溅射技术在衬底基片上制备了Al-CuO复合桥膜。利用扫描电镜、X射线衍射对复合桥膜的微观形貌和晶相结构进行了表征。采用......

本文利用磁控溅射技术制备了Al薄膜和CuO薄膜,研究了溅射压强和溅射功率对膜沉积速率及膜质量的影响,用扫描电子显微镜（SEM）、原子力......

本文采用磁控溅射法制备了三种结构的Al-CuO复合薄膜,分别为CuO-Al两层膜、CuO-Al-CuO三层膜、CuO-Al-CuO-Al四层膜。分别进行结构......